三豐表面輪廓儀是利用光學(xué)顯微技術(shù)、白光干涉掃描技術(shù)、計(jì)算機(jī)軟件控制技術(shù)和PZT垂直掃描技術(shù)對(duì)工件進(jìn)行非接觸測(cè)量，還原出工件3D表面形貌宏微觀(guān)信息，并通過(guò)軟件提供的多種工具對(duì)表面形貌進(jìn)行各種功能參數(shù)數(shù)據(jù)處理，實(shí)現(xiàn)對(duì)各種工件表面形貌的微納米測(cè)量和分析的光學(xué)計(jì)量?jī)x器。

 

　　今天咱們就來(lái)聊一聊三豐表面輪廓儀的操作方法：

 

　　1、將樣品放置在載物臺(tái)鏡頭下方。檢查電機(jī)連接和環(huán)境噪聲，確認(rèn)儀器狀態(tài)，

 

　　2、使用操縱桿調(diào)節(jié)Z軸，找到樣品表面干涉條紋。微調(diào)XY軸，找到待測(cè)區(qū)域，并重新找到干涉條紋。

 

　　3、完成掃描設(shè)置和命名等操作。點(diǎn)擊開(kāi)始測(cè)量（進(jìn)入3D視圖窗口旋轉(zhuǎn)調(diào)整觀(guān)察一會(huì)），進(jìn)行校平。

 

　　4、進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面，點(diǎn)擊“校平”圖標(biāo)，和平面樣品不同，臺(tái)階樣品需手動(dòng)選取基準(zhǔn)區(qū)域，選好基準(zhǔn)區(qū)域后，先“全部排除”再“包括”。

 

　　5、若樣品表面有好幾處區(qū)域均為平面且高度一致，可多選擇幾個(gè)區(qū)域作為基準(zhǔn)面進(jìn)行校平。

 

　　6、臺(tái)階高度測(cè)量：線(xiàn)臺(tái)階高度測(cè)量。

 

　　7、進(jìn)入分析工具界面，點(diǎn)擊“臺(tái)階高度”圖標(biāo)，即可直接獲取自動(dòng)檢測(cè)狀態(tài)下的面臺(tái)階高度相關(guān)數(shù)據(jù)。

 

　　8、在右側(cè)點(diǎn)擊“手動(dòng)檢測(cè)”，根據(jù)需求選擇合適的形狀作為平面1和平面2的測(cè)量區(qū)域，數(shù)據(jù)欄可直接讀取兩個(gè)區(qū)域的面臺(tái)階高度數(shù)值。

 

　　9、臺(tái)階高度測(cè)量：線(xiàn)臺(tái)階高度測(cè)量。

 

　　10、進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面，點(diǎn)擊“提取剖面”圖標(biāo)，使用合適方向的剖面線(xiàn)，提取目標(biāo)位置的剖面輪廓曲線(xiàn)。

 

　　11、進(jìn)入分析工具界面，點(diǎn)擊“臺(tái)階高度”圖標(biāo)，由于所測(cè)為中間凹槽到兩側(cè)平面高度，因此點(diǎn)擊右側(cè)工具欄，測(cè)量條對(duì)數(shù)選擇“2”，將紅色基準(zhǔn)線(xiàn)對(duì)放置到凹槽平面中間，兩對(duì)測(cè)量線(xiàn)對(duì)分別放置在兩側(cè)平面，即可在數(shù)據(jù)纜讀取臺(tái)階高度數(shù)據(jù)。